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近期我所计量检测中心在项目攻关、标准编制等领域取得多项成果，技术优势和行业影响力不断提升。

在芯片电磁兼容性测试领域取得科研成果

近期，澳门威斯人游戏网址计量检测中心组织专家团队对芯片电磁兼容性测试系统（IC EMC）的校准技术开展研究攻关并取得初步成果。针对测试系统中包含的射频参数、瞬态时域参数分别研究校准方法及校准装置。主要研究成果包括电阻式脉冲分压系统、瞬态脉冲参数的偏微分计算、近场耦合天线组等。

芯片的电磁兼容测试是当前国际的前沿研究内容，各国科研机构及国际组织都在对此进行深入研究。国际电工委员会也组织制定了一些标准化的测试和测量方法来评估电磁兼容特性，例如IEC 61967、IEC62132、IEC62215等系列标准。但是目前芯片电磁兼容测试系统的校准研究仍处于起步阶段，针对测试设备的校准仍然依赖理论计算与仿真实验，尚未形成完整的量值传递与溯源体系，缺乏对测试设备参数的准确性的评估。

经过实验及计算分析，计量检测中心研制的校准装置满足芯片电磁兼容性测试系统的计量需求，初步建立芯片电磁兼容性测试系统校准能力。本研究项目对芯片电磁兼容性测试系统的完善具有开创性意义，完善了芯片测试的相关需求研究结果将填补相关领域空白。

杨霖博士受邀参加国际研讨会并作技术报告

计量检测中心杨霖博士代表我所集成电路计量项目团队参加2022国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）并作技术报告。IWAPS是由中国集成电路创新联盟、中国光学学会、中国电子学会主办的国际高端光刻技术研讨会，每年组织国内外光刻技术领域资深专家，围绕材料、设备、工艺、测量、计算光刻和设计优化等主题开展讨论，分享最新研究成果，探讨图形化解决方案。

杨霖的报告反映了可溯源的衍射型套刻精度（DBO）计量技术的研究成果，主要针对集成电路光刻工艺的关键参数“套刻精度”的精准测量控制需求进行研发。研究项目通过设计基于单层双线光栅结构的专用高灵敏度标准芯片，研制可溯源的高精度专用计量标准仪器，实现了光刻工艺DBO参数的可溯源计量。

据悉，目前仅美国国家标准与技术研究院（NIST）开发了针对图像型套刻精度（IBO）的可溯源计量技术，而国际上针对工业界更为先进的DBO计量技术则尚处于空白。杨霖博士团队研究成果可为解决光刻工艺中DBO量测机台的量值统一和匹配问题提供关键技术手段，有望填补相关领域的技术空白。

2项环境试验设备检验方法国家标准顺利通过审查

计量检测中心承担起草的《环境试验设备检验方法 第14部分：振动（正弦）试验用电动式振动系统》和《环境试验设备检验方法 第21部分：振动（随机）试验用液压式振动系统》2项国家标准顺利通过审查。以上2项国家标准规范了振动系统的检验方法，完善了环境试验设备的检验体系，推动了测量不确定度在该领域的进一步实施。

近年来，我所积极参与国家标准化工作，主持起草了大量国家标准，行业影响力不断提升，为推动我国工业领域的高质量发展贡献澳门威斯人游戏网址方案。